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JZJLG型羅茨螺桿泵真空機組是以ZJ型或ZJP型羅茨真空泵為主泵或中間泵,以VPS螺桿真空泵為前級泵的成套高真空獲得設(shè)備,其結(jié)構(gòu)緊湊,操作方便。機組除了主泵及前級泵或中間泵外,還包括連接管道、不銹鋼波紋管、電接點壓力表和電氣控制箱等附件。一般羅茨真空泵和螺桿真空泵安裝在同一機架上(大型機組除外),具體見“機組外形尺寸”部分。
目前機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵,由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統(tǒng)被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此,一般在機組進(jìn)氣口處須安裝電接點壓力表,通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當(dāng)前級VPS螺桿泵起動后開始對系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)抽,當(dāng)系統(tǒng)壓力(即羅茨泵進(jìn)氣口處壓力)達(dá)到允許羅茨泵啟動的設(shè)定壓力(即電接點壓力表綠針?biāo)笁毫χ担r,羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下,由于發(fā)生特殊情況當(dāng)羅茨泵進(jìn)氣口壓力高于電接點壓力表上綠針?biāo)钢禃r,羅茨泵立即會自動停機,這樣就可實現(xiàn)羅茨泵的自動過載保護(hù),從而可以避免機組出現(xiàn)過載和過熱而導(dǎo)致機組發(fā)生故障。
本型號羅茨螺桿泵真空機組配用的前級泵,系采用韓國進(jìn)口等螺距螺桿真空泵。該產(chǎn)品為目前同類產(chǎn)品的水平,主要表現(xiàn)在振動小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運轉(zhuǎn)時可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優(yōu)點,從而保證了機組具有良好的抽氣效率。
注:1,機組的極限壓力是指用麥?zhǔn)险婵沼嫓y得的空氣分壓力值,用熱偶真空計測得的全壓力值應(yīng)比極限壓力小半個到一個數(shù)量級。
2,機組的抽氣速率是指在機組主泵的入口壓力在約1~100 pa工作條件下測得的實際抽速。